随着国家环保标准的日益提高以及污水回用的要求，以往传统的污水处理技术已经难以满足技术的需求，从而提出了污水深度处理的技术需求。高级氧化技术是一项新兴的水处理技术，能在反应过程中产生羟基自由基等强氧化自由基团，大大提高了氧化能力，有效地降解水中污染物。作为高级氧化技术之一，臭氧氧化或臭氧催化氧化由于其处理效果好、操作简单而得到了较快的发展，不论臭氧氧化或臭氧催化氧化，均有成熟的工业化案例在运行。

臭氧催化氧化技术在处理高浓度、难降解有机废水中广泛应用，对于制药废水、印染废水、石化废水等排放量大、污染物浓度高、可生化性差的处理具有较好的效果。臭氧催化氧化效果受到催化剂类型、投加量、臭氧浓度、pH值等因素的影响，在实际应用中应结合废水特性，选择合适的催化剂，确定运行参数。此外，臭氧催化氧化技术与其他污水处理技术联用时，工艺流程的设计对于处理效果、控制成本至关重要，合理的处理工艺既能够实现环境效益，也可以降低处理成本，取得经济效益。