医药废水的处理大多医药废水COD较高、可生化性差，单纯靠物理化学方法处理成本高不经济，普通的生化处理又根本行不通，所以可以先用臭氧预处理，主要是为了提高废水的可生化性，为后续生物处理降低难度，同时降低COD。

对印染废水的处理印染废水对环境的污染很严重，其水量大、水质波动大、污染物成分复杂且含量高，色度、化学需氧量(COD)和生化需氧量(BOD)均较高，是国内外难处理的工业废水之一。臭氧氧化技术是利用臭氧分子反应选择性强，能与含双键的染料直接发生加成反应，使染料开环脱色，并提高废水的可生化性。此外，臭氧在紫外线(UV)作用下，转化为˙OH等强氧化性物质，与有机物反应，使染料的发色基团中的不饱和键断裂，生成相对分子质量小、无色的有机酸、醛等，达到脱色和降解有机物的目的。利用O3/UV氧化与常规生化组合，先利用生化法将可生化有机物大部分去除，剩余不可生化污染物用O3/UV氧化，以降低臭氧的消耗及处理成本，提高出水水质。

对含酚废水的处理含酚废水是比较普遍且危害性很严重的工业废水之一，酚是一种公认的致癌、致畸、致变的“三致”物质，处理工业含酚废水已是工业废水方面急待解决的问题之一。研究表明，对于含酚量为227mg/L，pH值为7.3-7.6，水温为13-40C的焦化厂废水，经过臭氧氧化处理后，水中的含酚量降低了98%。